Вакуумметры работают по принципу определения изменений давления и преобразования этих изменений в электрические сигналы, которые могут быть интерпретированы пользователем. Существует два типа сигналов, которые могут генерировать вакуумметры: аналоговые и цифровые. В дополнение к сигналам оценки существуют различные интерфейсы, выбор которых зависит от конкретных требований приложения. Также следует учитывать требуемое аппаратное и программное обеспечение, сложность и трудоемкость обслуживания интерфейса.
Две стандартные серии вакуумметров Pfeiffer - DigiLine и ActiveLine, которые являются активными датчиками, что означает, что электронные компоненты находятся в том же корпусе, что и само измерительное устройство.
Оптимизация вакуумных систем за счет вакуумметров Pfeiffer Vacuum
Для измерения в широких диапазонах в некоторых вакуумных системах может потребоваться сочетание нескольких типов вакуумметров с одинаковыми и/или различными принципами измерения. Это может быть реализовано либо путем интеграции нескольких отдельных манометров в одну систему, либо с помощью комбинированных манометров. В зависимости от требований и комбинации можно определить желаемую точность в соответствующих диапазонах давлений, чтобы контролировать всю последовательность действий, начиная с откачки воздуха из камеры и заканчивая ее последующим заполнением. Возможны следующие комбинации:
- Пьезо/Пирани
- Пирани/Горячий катод
- Пирани/Холодный катод
- Пирани/Емкостной
Доступные типы фланцев: чаще всего используются фланцы ISO-KF (стандарт) и CF. Некоторые манометры поставляются с фланцем TriClamp, VCR или резьбой, которые легко встраиваются в систему.
Методы измерения: Прямой и газонезависимый или косвенный и газозависимый?
Если необходимо контролировать только условия процесса с небольшим диапазоном давления, принцип измерения можно выбрать в соответствии с приведенным ниже списком, исходя из диапазона давления. Существуют косвенные измерения, которые определяют давление по свойствам газа. Они, естественно, обеспечивают результат измерения, зависящий от типа газа. Прямые измерения, с другой стороны, представляют собой принципы измерения, которые не зависят от типа газа. Соответствующие точность и воспроизводимость также указаны. В зависимости от того, насколько точными должны быть измерения, требования к точности и, соответственно, стоимость измерительного прибора будут разными.
Измерение в зависимости от типа газа:
- Пирани
- Холодный катод
- Горячий катод
Измерение, не зависящее от типа газа:
- Емкостной
- Пьезорезистивный
Вакуумметры Pfeiffer серии DigiLine
Датчики DigiLine разработаны для промышленных и научно-исследовательских применений, где требуется простое в установке и надежное измерение общего давления. Серия охватывает наиболее интересный с технической точки зрения вакуумный диапазон с принципами измерения Пьезо, Пирани, емкостными датчиками, датчиками с горячим и холодным катодом. Все датчики оснащены интерфейсом RS-485, через который к контроллеру можно подключить до 16 точек измерения.
В качестве опций предлагаются интерфейсы Profibus-DP, DeviceNet, Profinet и EtherCAT, а также дополнительный аналоговый выход с двумя точками переключения и ЖК-дисплеем.
- Безотказная связь с ПК или ПЛК
- Разъемы M12 и защита IP54 для надежной работы в тяжелых условиях эксплуатации
- Современные интерфейсы (промышленный Ethernet и полевые шины)
Вакуумметры Pfeiffer серии ActiveLine
Серия ActiveLine предлагает большой выбор вакуумметров с различными принципами измерения и классическим аналоговым выходом. Серия охватывает весь диапазон давлений - от сверхвысокого вакуума до избыточного давления. Выходное напряжение датчиков, пропорциональное давлению, может отображаться в виде давления на трех блоках управления или считываться через аналоговые входы для дальнейшей обработки в системах управления.
- Благодаря компактному исполнению монтаж не занимает много места
- Благодаря устройствам управления с автоматическим обнаружением преобразователя можно избежать ошибок при монтаже
- Благодаря унифицированному стандартному кабелю со штекером Hirschmann все датчики легко подключаются.
Датчики ActiveLine также доступны с другим разъемом. Эта серия приборов называется CenterLine. Устройства CenterLine совместимы с активными датчиками других производителей.
Вакуумметры Pfeiffer серии ModulLine
Датчики Pfeiffer серии ModulLine подходят для измерения полного давления в зонах с ионизирующим излучением. Эти манометры не содержат электроники, что позволяет использовать их, в частности, в местах с высоким уровнем излучения.
Серия ModulLine включает:
- Датчики Пирани - модель TPR;
- Датчики с холодным катодом - модель IKR;
- Датчики с горячим катодом - модель IMR.

Вакуумные насосы
Воздуходувки
Компрессоры